한국환경산업기술원(원장 김상일)은 세이브기술(주)의 “대용량 육불화황(SF6) 및 불화가스 고효율 직화 열분해기술”을 녹색기술로 인증하였다고 밝혔다.
육불화황은 반도체, LCD 공정 등에서 배출되는 지구온난화물질로, 지구온난화에 미치는 영향이 이산화탄소의 23,900배(동일량 기준)에 이른다.
그러나 동 물질에 대한 배출허용기준이 정해져 있지 않아 대부분 별도 처리 없이 대기 중으로 방출되어 왔다.
이번에 녹색기술로 인증된 세이브기술(주)의 기술은 1250℃~1350℃의 고온의 반응기 내에서 육불화황을 열분해한 후 급속냉각하여 제거하는 기술로, 다이옥신과 같은 2차 오염물질 생성 우려가 없으며, 대용량(30㎥/min이상)의 육불화황 처리가 가능할 뿐만 아니라, 온도 조건에 따라 95% 이상의 육불화황 제거가 가능한 것이 특징이다.
동 기술은 현재 구미 LG디스플레이 공장에 적용되어 성공적으로 운영 되고 있으며, 세이브기술(주)과 LG디스플레이는 본 기술 도입에 따른 육불화황 감축 실적을 CDM 사업으로 추진하고자 관련 절차를 진행 중에 있다.
한국환경산업기술원 김용국 실장은 “세이브기술(주)의 육불화황 열분해 기술은 국내 최초로 실제 현장에 적용되어 안정적인 처리성능이 입증되었다는 점에서 기술적 가치가 있으며, 향후 반도체 등 관련 분야로의 확대 적용 가능성이 높고, 지구온난화 물질의 제거라는 측면에서 녹색성이 크게 인정되어 녹색기술로 인증하였다”고 밝혔다.
[조범용 기자 : tiragon@enviros.co.kr]
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